· PRODUCT· 리퍼비시 서비스

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PVD Sputter

AMAT Endura, Novellus XM-90

조인테크놀러지는 사용자의 요구사항에 맞추어
“개선되고 재정비된” 다양한 리퍼비시 설비를 공급합니다.

Introduction

AMAT사의 PVD sputter Endura E5500은 반도체 제조의 핵심공정인 metallization에서 고객의 다양한 요구사항에 적합한 생산 솔루션을 제공합니다.

Al, Ti, TiN, TTN등과 같은 다양한 target 사용 가능
싱글 플랫폼에 멀티 챔버를 구성하여 공정 진행 중 wafer의 오염을 최소화

Silicides (Co, Ti, Ni 등)
Al interconnect, Al plug
Tungsten Plug Liner/Barrier
Cu Barrier/Seed

Detail view

System layout

Refurbishment work

Load lock chamber

Transfer module